该课程考察了用于制造和分析亚微米和纳米结构的技术及其应用，探讨了光学和电子显微术。
附属的论题还包括：表面特征描述、表面准备和测量技术，抗蚀技术，光学投影，干涉仪，X射
线、离子和电子光刻技术；湿法、离子及等离子体刻蚀技术；剥离技术和电镀以及离子注入。同
时也对其在微电子，微光电，信息存储和纳米技术中的应用进行了探讨。
致谢
本课程教师感谢Bob Barsotti，Bryan Cord和Ben Wunsch在原子力显微镜录像方面所做的工
作，同样感谢Bryan Cord制作了每个录像。
技术要求
需要特定的软件才能使用包含在课程中的某些文件：.mov.